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        LED外延片PL譜掃描成像儀/PL Mapping/PL譜儀

        功能介紹

        1. 檢測外延片PL(光致發(fā)光)光譜和白光反射光譜。
        2. 通過外延片PL光譜測量外延片逐點的:峰值波長(WLP)、主波長(WLD)、光譜半寬(HW)、積分光強(INT)、峰強度(PI)。
        3. 通過白光反射光譜測量外延片逐點的:薄膜厚度(Thickness)和反射率(PR)。
        4. 顯示及輸出各被測量參數(shù)的均值(Mean)、均方差(Std)、標準差率(CV)等統(tǒng)計結(jié)果,并以圖形形式顯示各項參數(shù)的Mapping分布。
        5. 其他選配功能:
        ·  可選配多個激光器,最多可配4個激光器。
        ·  可配置測量各波長段(UV-VIS-NIR)DBR(分布布拉格反射)數(shù)據(jù)。
        ·  可配置外延片翹曲度測量功能。
        ·  可配置激光打標機。
        ·  可配置光功率傳感器。(對應(yīng)Photo Detector)

        設(shè)備機型

        IM-1130(移動機柜手動型PL譜儀):IM-1130型PL譜儀采用可移動機柜形式,方便操作,標準機型可測量2、4、6寸片,其中2寸片可一次測量4片,根據(jù)客戶需要可配置一次測量9個2寸片的載物臺。
         
        IM-2040(傾斜料倉2、4寸自動型PL譜儀):IM-2000全自動型PL譜儀是針對2、4寸片專門設(shè)計的自動機型。該型號設(shè)備使用標準cassette料盒為載具,一次最多可放置3個料盒,共75片外延片。
         
        IM-3000(雙臂機械手型PL譜儀)IM-3000雙臂機械手型PL譜選用柱坐標機械手自動取放片,自動正片,使用標準cassette料盒為載具,共設(shè)有3個工位,一次最多可測75只外延片。